元沿設(shè)，員額很多，除內(nèi)臺(tái)三十二員，尚有江南行臺(tái)二十八員、陜西行臺(tái)二十員。

明廢御史臺(tái)設(shè)都察院，通掌彈劾及建言，設(shè)左右都御史、左右副都御史、左右僉都御史。又設(shè)十三道監(jiān)察御史110人，為正七品官，分區(qū)掌管監(jiān)察，稱為“巡按御史”。巡按御史被稱為“代天子巡狩”，大事奏裁，小事主斷，官位雖不高，但權(quán)勢(shì)頗重。

清同明制，乾隆時(shí)于都察院左都御史、在副都御史下設(shè)十五道掌印監(jiān)察御史及監(jiān)察御史，清末增至二十道。其職掌為“彈舉官邪，敷陳治道，審核刑名，糾察典禮”等事。

清朝，此官職配置于朝廷或地方，為制衡行政機(jī)構(gòu)主官的非常派朝廷或地方官員。監(jiān)察御史不僅可對(duì)違法官吏進(jìn)行彈劾，也可由皇帝賦予直接審判行政官員之權(quán)利，并對(duì)府州縣道等審判衙門(mén)進(jìn)行實(shí)質(zhì)監(jiān)督，也可在監(jiān)察過(guò)程中對(duì)地方行政所存在的弊端上奏。例如1722年－1769年設(shè)置的巡視臺(tái)灣監(jiān)察御史，另外，該官職品等為從五品。

1910年代，清朝滅亡后，中華民國(guó)廢除該官職。

古代監(jiān)察制度

中國(guó)古代監(jiān)察制度起源甚早，中國(guó)古代的封建國(guó)家為監(jiān)督政府官員，為國(guó)家利益和皇帝利益而服務(wù)，維護(hù)既有的統(tǒng)治秩序，保證國(guó)家機(jī)器正常運(yùn)轉(zhuǎn)而設(shè)立的一項(xiàng)專門(mén)的“準(zhǔn)司法”性質(zhì)的國(guó)家監(jiān)督制度。監(jiān)督法律、法令的實(shí)施，維護(hù)國(guó)家法律、法令和法制（當(dāng)然，這里是指封建法制）的統(tǒng)一，參與并監(jiān)督中央和地方司法（在古代，司法從屬于行政，因此，在古代，司法和行政是同義詞）機(jī)關(guān)對(duì)重大案件的審理活動(dòng)，是中國(guó)古代監(jiān)察機(jī)構(gòu)及監(jiān)察官員的主要職責(zé)。